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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 P. Mocoteguy 8건

습식도금 자료분류

자료수 10821 건
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Pstation Data Box · 2019 ⋅ S.I.HONG ⋅
습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 검색(로그인 필요)은 아래 내용을 참조하여 주시기 바랍니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 /...

좁은 트렌치를 채우는 것으로 알려진 구리도금은 임피던스측정에 의해 회전 디스크로 연구하였다. 이 도금액의 조성은 황산, 황산구리 및 염화물 이온, 광택제로서 폴리에틸렌 글리콜 (PEG) 및 촉진제로서 3-메르캅토 -1-프로판설폰산, 나트륨염 (MPSA) 이 포함되었다. 실험 결과로 이러한 유기첨가제를...

구리/합금 · Electrochimica Acta · 51권 2006년 · C. Gabrielli · P. Mocoteguy 외 .. 참조 11회

이중다마신 구리전기도금은 공통적으로 집적회로에서 구리 내부회로에 사용된다. 일반원리는 구리아노드를 사용한 도금액으로, 황산, 황산구리, 염화물 그리고 여러가지 첨가제로 광택제/가속제, 캐리어/감속제, 레벨러 등의 고속필링제가 사용된다.

구리/합금 · NA · NA · C. Gabridelli · P.Mocoteguy 외 .. 참조 47회

염화물이 있는 황산-황산염 수조에서 구리도금을 전기 화학적 임피던스 측정으로 조사되다. 황산-황산염 구리도금조에 첨가된 염화물 이온이 질량수송에 의해 제한되지 않는 촉매작용을 갖는 모델이 제안되었다. 이것은 관찰된 질량 수송 한계가 구리이온의 확산으로 인한 것이며, 높은 전류밀도에...

구리/합금 · Electroanalytical Chemistry · 572권 2004년 · C. Gabrielli · P. Mocoteguy 외 .. 참조 34회

전기화학적 임피던스 분광법은 도금과정에서 구리 인터커넥트 도금조에서 수행되는 성능 저하 (노화) 를 연구했다. 반응 메커니즘에서 유기 첨가제를 고려하여 임피던스 스캔을 시뮬레이션하기 위해 운동기반 모델을 사용했다. 또한 등가회로 분석을 수행하여 저항성 및 용량 성 구성요소의 측면에서 도...

구리/합금 · Appl Electrochem · 38권 2008년 · C. Gabrielli · P. Mocoteguy 외 .. 참조 52회

다마신 공정에서 구리도금 의 동역학 및 형태에 대한 용해성 및 불용성양극의 영향을 전압전류법 및 임피던스기술로 조사 하였다. 마이크로 전자산업에서 트렌치와 비아의 등각 수퍼필링을 제공하는 것으로 알려진 도금액이 사용되었다. 유리질 탄소양극을 사용하면 도금액이 더 빨리 분해...

구리/합금 · Electrochemical Society · 154권 3호 2007년 · C. Gabrielli · P. Mocoteguy 외 .. 참조 35회

다마신 전기도금 공정은 고성능 구리 인터커넥트를 실현하기 위해 마이크로 전자 기술에 주로 사용된다. 그러나 초등각 전착 측면에서 전착물의 품질은 잘 관리되지 않는다. 보이드가 없는 전착물을 얻으려면 수퍼필링 이라고도하는 초등각 전착이 필요하다. 초등각 전착은 입구보다 캐비티 바...

구리/합금 · Electrochemical and Solid-State Letters · 7권 4호 2004년 · C. Gabrielli · P. Mocoteguy 외 .. 참조 26회

좁은 트렌치를 채우는 것으로 알려진 도금조의 구리 전착을 회전 디스크 전극, 임피던스 측정으로 연구 하였다. 이 액의 화학에는 황산, 황산구리 및 염화물 이온, 억제제로서 폴리에틸렌글리콜 (PEG) 및 촉진제로서 3-메르캅토 -1-프로판설폰산, 나트륨염 (MPSA) 이 포함되었다. 실험결과 이러한 유기...

구리/합금 · Electrochimica Acta · 51권 2006년 · C. Gabrielli · P. Mocoteguy 외 .. 참조 38회

구리 가속기 복합체의 존재뿐만 아니라 억제제와 가속기의 경쟁적 흡착을 고려한 다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되었다. 이 모델은 수퍼필링 구리도금조의 새로운 용액에 대한 전기화학 임피던스 분광법 및 DC 전압 류측정을 통해 실험적으로 검증 되었다. 이 논문에서, 동일한 모델...

구리/합금 · Electrochemical Society · 154권 1호 2007년 · C. Gabrielli · P. Moçotéguy 외 .. 참조 33회

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